دستگاه لایه نشانی تبخیر فیزیکی با پرتوالکترونی
با استفاده از این فرایند، امکان تبخیر فلزات دیرگداز و سرامیک ها در مقیاس آزمایشگاهی وجود دارد. توان اسمی دستگاه ۱۵ کیلو وات است و همچنین دستگاه دارای ضخامت سنج کریستالی می باشد.
ویژگی نمونه
- نمونه بایستی تخت و مسطح باشد و کاملا آیینه ای باشد.
- محدودیتی در جنس نمونه وجود ندارد، می توان ورق فولادی، شیشه لام یا ویفر سیلیکون باشد.
- اندازه نمونه بایستی طوری باشد که بتوان با نمونه دان آنها را ثبت نمود.
کاربردهای دستگاه
- پوشش دهی فلزات دیرگداز/ پوشش دهی مواد سرامیکی
- کاربردهای اپتیکی و الکترونیکی
مقیاس دستگاه
- آزمایشگاهی (نمونه های تخت و کوچک کمتر از ۱۰ در ۱۰ سانتی متر)
محدودیت ها
- قطعات غیرمسطح امکان لایه نشانی ندارد.
- ابعاد نمونه باید کمتر از ۱۰ در ۱۰ سانتیمتر باشد.
- برای کاربردهای سخت و مقاوم کارایی لازم را ندارد.
نمونه های انجام شده
- پوشش دهی اکسید آلومینیوم و کوارتز
- پوشش دهی استیل
- پوشش دهی تیتانیوم