دستگاه کندوپاش مغناطیسی به روش جریان مستقیم/فرکانس رادیویی و تبخیرحرارتی
با استفاده از این فرایند، فلزات با نقطه ذوب زیر ۱۰۰۰ درجه سانتیگراد (مانند مس، طلا و نقره) را می توان تبخیر کرد. امکان تغییر جریان ورودی به منبع تبخیر تا ۲۰۰ آمپر وجود دارد. همچنین دستگاه دارای ضخامت سنج کریستالی می باشد.
ویژگی نمونه
- نمونه بایستی تخت و مسطح باشد و کاملا آیینه ای باشد.
- محدودیتی در جنس نمونه وجود ندارد، می توان ورق فولادی، شیشه لام یا ویفر سیلیکون باشد.
- اندازه نمونه بایستی طوری باشد که بتوان با نمونه دان آنها را ثبت نمود.
کاربرد دستگاه
- پوشش دهی فلزات/پوشش دهی نیترید فلزات
- لایه نشانی فلزات با نقطه ذوب کمتر از ۱۰۰۰ درجه سانتیگراد
- کاربردهای اپتیکی و الکترونیکی
مقیاس دستگاه
- آزمایشگاهی (نمونه های تخت و کوچک ۱۰ در ۱۰ سانتی متر)
محدودیت ها
- قطعات غیرمسطح امکان لایه نشانی ندارد.
- همچنین نمونه بایستر کمتر از ۱۰ در ۱۰ سانتیمتر باشد.
- برای کاربردهای سخت و مقاوم کارایی لازم را ندارد.
نمونه های انجام شده
- پوشش دهی طلا
- پوشش دهی نقره
- پوشش دهی مس